二手 CANON FPA 3000 i5+ #293625346 待售

CANON FPA 3000 i5+是一種用於半導體制造和成像應用的最先進的晶圓步進器。它基於一個新的高接受率（HAR）技術平臺,在吞吐量、現場規模、成本和用戶靈活性方面改進了傳統晶圓步進器。步進器具有雙柱龍門結構設計,可減少振動和占用空間。它可以實現高達1.1納米的掃描模式精度，並確保晶片在100毫米-500毫米範圍內的精確對準，以實現均勻的照明和高產率的加工晶片。該系統還集成了雙層地圖校正機制，用於校正交替相移掩碼（PSM）和二進制掩碼斑點的失真。這樣可以減少叠加誤差,並將復雜設備的生產成本降至最低。步進器在掃描模式下的吞吐量高達每小時65個晶圓，在掃描+隊列模式下其i5+四核處理器和Image Logic Control Suite軟件的吞吐量高達每小時85個晶圓。其光學機械設計可實現高達0.2nm的高精度聚焦校正,從而獲得高質量的表面光潔度。CANON FPA 3000I5+還吹捧了一系列先進的功能，如增強的加載和清潔、用於卓越成像的光學功能以及用於操作員方便和保護的安全功能。其空調工作空間和先進的空氣管理，以及改進的技術特點，使得低成本和低噪音的操作成為可能。此外,它還包含一系列連接選項,例如遠程圖像采集、OPC和MES支持以及系統監控。這提供了與現有晶圓廠生產線和系統的直接集成,從而提高了系統的效率並確保了成本節約。總之，FPA-3000 I5+是一種先進的晶圓步進器，功能強大，設計緊湊。它采用最新的HAR技術,提供高吞吐量、高準確性和高產量,並提供靈活的選項和連接,以實現與現有系統的無縫集成。由於其先進的特點，這種步進器是一個可靠的工具，高質量的半導體制造和成像。