二手 CANON FPA 3000 i5+ #293815249 待售

CANON FPA 3000 i5+是一種先進的掃描步進器，旨在提供高端曝光系統，用於生產無掩模光刻系統。它旨在以無與倫比的精度、精度和速度實現曝光。CANON FPA 3000I5+利用一種光學設備，利用一種稱為柵格陣列曝光面罩的光柵，在舞臺上提供更精確和均勻的曝光。這種光柵由一系列周期性間隔的微觀模式組成，使高清圖像能夠精確投影到曝光階段，而不會出現模糊或失真。該系統使用兩臺幹涉測量掃描儀（IMS），這有助於確保暴露在曝光階段的掩模定位的準確性。這一點尤其重要，因為即使是最輕微的位置錯誤也會導致正在生產的成品設備出現重大缺陷。有兩種掃描模式,使設備能夠滿足不同類型的設備制造需求。FPA-3000 I5+還采用了先進的投影和無掩模制圖技術，如獲得專利的介電膜掩模制圖機，大大提高了設備生產過程生命周期中曝光和再現一致性的準確性。這是通過控制投影遮罩的導光區域的電荷狀態來完成的，允許更精確和一致的圖像投影。此外,高級投影光學器件允許使用更大的掃描字段,這有助於減少給定任務所需的曝光時間,這對於大批量生產過程至關重要。FPA 3000i5+的設計具有高度的靈活性和可擴展性,這意味著它可以最好地適應設備制造過程中不斷變化的需求。此外,它還設計為在很少或沒有停機的情況下連續運行,同時在人口最稠密的表面上提供精確、精確、可重復的曝光。此外，它是高度可定制的，使其能夠適應幾乎任何可以想象的半導體生產過程。從晶圓級到元件級系統，FPA 3000I5+被設計為提供無與倫比的性能、精度和速度。