二手 CANON FPA 3000 i5+ #293817803 待售

CANON FPA 3000 i5+
ID: 293817803
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.45-0.63 Resolution: 350 nm DCO: 50 Throughput (wph): 100-200.
CANON FPA 3000 i5+晶圓步進器是一種先進的光學光刻設備,設計用於半導體基板上非常精細的元件的生產級制造。它利用高端步進器以亞微米分辨率細化圖案基板。CANON FPA 3000I5+具有很高的重復性和精度水平,確保了非常小基板的一致和準確的加工。FPA-3000 I5+利用了一系列先進的光刻技術,包括用於曝光精度的步進重復工藝、用於提高圖像穩定性的鏡像輔助成像(MAI)以及用於微調膜的專利抗性塗層技術。該系統還配備了與高精度鏡頭單元配對的大功率氙氣閃光燈,提供了最大的光照強度和邊到邊的清晰度和均勻性。CANON FPA 3000 I5++附加了控制軟件、用於基板映射的高精度邊緣輪廓傳感器(EPS)、覆蓋廣泛曝光領域的尖端可變間距轉換鏡頭、護膜技術和溫度控制以獲得最佳性能等多項功能。FPA 3000i5+設計為模塊化,可輕松配置以滿足特定的應用程序需求,如大批量生產需求或專門的原型設計需求。晶片步進器還允許客戶配置其芯片堆棧,以確保高分辨率成像和快速吞吐量時間。CANON FPA-3000 I5+提供了極好的加工靈活性,包括基板到基板和步進和重復方法。其精密的光刻技術還確保了優秀的薄膜均勻性,確保了產品質量的一致性。此外,機器的高級控制工具、計算機輔助診斷和全面的服務功能使其成為滿足大批量生產運行或定制原型設計需求的理想解決方案。
還沒有評論