二手 CANON FPA 3000 i5+ #293827690 待售

CANON FPA 3000 i5+是用於制造半導體器件和集成電路的先進晶圓步進器。這種設備具有一系列特點和優點，包括：高分辨率對準系統，可確保每一個模具的精確和可重復對準。不斷保持樣品平面度、提供更精確聚焦而無需用戶調整的自動聚焦功能；另外一個2軸旋轉階段可以更好地控制暴露劑量和劑量均勻性；以及支持高通量應用的高功率8波長激光器。CANON FPA 3000I5+還可以受益於非常快的采樣和步進重復速度，最大控制器抖動僅為10皮秒。隨著設備內部溫度波動的減少，FPA-3000 I5+能夠在多個晶片上保持暴露劑量一致和均勻。通過防止模具因樣品變形而失準,提高了工藝可靠性.超精密曝光單元還可以實現更好的模模一致性和更高的生產率。FPA 3000i5+還具有可選的XY級,可用於其他過程控制功能。這個XY級采用高性能、密封軸承型，提供精確定位和穩定性。它還可以支持使用自旋主設備，允許更先進的過程控制技術，如光刻膠圖樣偏差評估、增強精度對準、曝光劑量測試等。CANON FPA-3000 I5+還有一個集成的可移動托盤設計，允許快速的作業轉換和晶圓加載。它捕獲每批所需的所有必要信息,如曝光設置、結果和曝光前配方。使用雙顯示器觸摸面板,操作員可以同時監視流程狀態、當前曝光和配方設置。最後，CANON FPA 3000 I5++是為超精密過程控制而構建的高性能晶圓步進器。3000i5+具有高分辨率對準機、自動對焦和8波長激光器，在高通量應用中具有精確的曝光和可重復的效果。通過結合XY級和直觀的刀具設計，確保了半導體器件和集成電路的可靠和準確的生產。