二手 CANON FPA 3000 i5+ #293829393 待售

CANON FPA 3000 i5+是一種緊湊、多級場光刻步進器，分辨率高達0.2 μ m。它被設計用於向眾多晶圓基板的高精度模式轉移，直徑從5毫米到200毫米半導體器件不等。步進器利用一系列鏡子、透鏡和濾鏡，利用紫外線在晶片上產生圖樣。該裝置基於五級設計，主級一臺，獨立四臺。每個階段都配有一個靜態和動態鏡像，配置用於電動XY控制。該設備能夠在一次運行中對幾個晶片進行精確、可重復的對準和曝光,而停機時間最短。它還提供了一個內置的電動校準系統，以實現一致和準確的曝光時間。步進器可配備一系列鏡頭，包括CANON FPA-3003 I-5+，一種分辨率為0.2 μ m的高分辨率非球面鏡頭。該單元還可以配置一個可調的圖像字段，允許各種尺寸範圍的圖案的最佳曝光。步進器與多種成像工具兼容，如自動基準、多對齊傳感器和空浮Z-Axis相機系統。它還提供了多種精度和可重復性特征,從+/-0.1 μ m步進重復到+/-5 μ m任意移位移動。此外,步進器還支持直徑最大為十英寸的統一晶片安裝,提供自動基板交換機,並配備自動定位工具,以便更輕松地更換基板。資產還支持一系列傳感器，包括自動測量、線沿檢測和對比度增強傳感器。步進器還結合了熱控制和控制整個設備溫度的減振模型，使其保持在+3至+20°C的範圍內。它還提供了一個掃描儀系統，可以跟蹤分辨率為0.2 μ m的物體或點。這些特性允許高精度的模式傳輸和可重復性。總體而言，CANON FPA 3000I5+是一種高度通用的多級場光刻單元，具有可調圖像場和一系列傳感器。它被設計用於向無數種不同晶片基板的高精度模式轉移，適用於半導體器件生產中的多種應用。