二手 CANON FPA 3000 i5+ #9065380 待售

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ID: 9065380
Stepper Currently deinstalled and stored in cleanroom 2001 vintage.
CANON FPA 3000 i5+是一種高性能晶圓步進器,旨在為80毫米、100毫米和200毫米晶圓提供高效、精確的曝光。它配備了最新的成像光學和先進的技術,以確保高精度圖樣的可靠生產。CANON FPA 3000I5+比其他晶片步進器型號高出一個檔次-被稱為世界上最先進的晶片步進器。步進器由智能控制邏輯提供動力,可以精確放置模式,提高系統生產率。它還配備了先進的SmartView虹膜,用於高速掃描和查看功能。此外,它的磁場平整透鏡有助於減輕在大型晶片(如200毫米晶片)上執行時殘留的圖像失真。FPA-3000 I5+具有許多令人印象深刻的功能,在晶圓預對準和後對準曝光方面具有卓越的精度。其雙光學系統提供兩個晶片的同時曝光,增加了生產時間的並行化。晶圓步進器還具有超高數值孔徑(UHNA)光學設計,可將分辨率降至0.10微米。這樣可以確保足夠的精確度來挑戰具有極端圖像質量的電路結構。此外,FPA 3000I5+具有可選的邊緣掃描儀,它與虹膜配合工作,可自動檢測晶片邊緣,同時優化識別精度。最後,該步進器具有佳能獨有的自動光掩碼處理(APP),可完全控制對準後曝光。使用APP模塊,用戶可以輕松插入、控制和檢查各種晶圓吞吐量配置的光掩碼。在求和上,FPA 3000 i5+是目前最先進的晶圓步進器。其雙光學系統、UHNA光學和邊緣掃描儀提供了卓越的精度和成像能力,確保了高精度圖樣的可靠生產。此外,它的APP模塊為用戶提供了對齊後曝光的完全控制。通過利用CANON FPA-3000 I5+的這些功能,用戶可以期待80毫米、100毫米和200毫米晶圓的高效和精確曝光。
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