二手 CANON FPA 3000 i5 #9068403 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9068403
晶圓大小: 6"
優質的: 1999
Fine pattern aligner, 8"
Reticle: 6"
RtL with ACT8 1.5BL (SG 24786)
Console:
HP 715
X-terminal
Auto feeder:
A/F type: Type-VI-L
W/F size: 6" flat
Inline: Yes
Edge exposure: No
Reticle changer: 6"
Library slot no: 12
Option: PPC
Cassette type: Nikon
Wafer stage:
Flat type
Laser interferometer: Zygo 3-axis
Chuck: 6" pin
Illuminator: i-Line Hg lamp
Clean chamber:
Rasco TBW-CD-83
Image rack:
No Part No Description
1 BG4-6632 TV Image CPU PCB
2 BG4-9715 ADP-2 PCB
3 BG9-4084 ACC-1 PCB
4 BG9-4085 ACC-2 PCB
5 BG9-3501 IMP2 PCB
6 BG4-6582 HRD Processing PCB
VME rack:
No Part No Description
9 BG4-6628 CAM UNIT
10 BG3-2462 Main CPU PCB
11 SPARE
12 SPARE
13 BG4-6631 CDIF PCB
14 BG4-6629 Stage CPU PCB
15 SPARE
16 BG4-9217 DSP
17 SPARE
18 BG4-6465 Measurement PCB (X)
19 BG4-6466 Measurement PCB (Y)
20 BG4-6467 Measurement PCB (Θ)
21 SPARE
22 BG4-9175 MLE IF PCB
23 BG4-9191 XY PRE2 PCB
24 BG4-6459 OFCD IF PCB
25 BG4-9151 FZANA PCB
26 SPARE
27 BG4-7937 CCD OPTF CAP2 PCB
200V/3P/28.0KVA , 200V/1P/4.5KVA
1999 vintage.
CANON FPA 3000 i5是一種精密晶圓步進器，設計用於高性能光刻和先進的微加工。CANON FPA 3000I5具有800mm x 800mm的現場尺寸,是一種先進的光學成像設備,能夠產生高達80nm分辨率的高精度圖樣。該系統配備了多種硬件和軟件功能，包括已安裝的Source Deuterium（ISDe）激光源、增強型系列掩模更換器、新設計的舞臺放大器和定制開發的控制軟件。該設備還具有高達4K fps的成像性能和用於精確掃描的電動定位器MP-1400,以及用於直接查看圖像的高分辨率2 MP顯示器。FPA-3000 I5設計用於先進的光刻工藝,如MEMS、半導體和生物制造工藝。它具有高分辨率的成像功能,可以提高準確性、提高產量以及提高吞吐量。其整合式源氘（ISDe）激光源允許光譜較寬的光源，在光刻過程中提供更大的深度和靈活性。新的系列蒙版更換器能夠處理多個曝光源和蒙版,在處理過程中提供更高的準確性和更大的靈活性。佳能FPA-3000 I5還包括改進級振蕩和掃描的增強型電動機和控制算法,以及新設計的級放大器,可提高精度和更快的測量時間。該機器還包括一個定制開發的控制軟件，提供靈活性和穩定性，以及改進的用戶友好性。這樣可以確保更好的結果和更準確的測量,同時最大限度地減少停機時間。FPA 3000 i5采用模塊化體系結構進行設計,在應對不同的應用程序挑戰時可實現更大的通用性和靈活性。它配備了開放式框架，更容易與其他系統集成。FPA 3000I5是實現高分辨率陣列的理想工具,具有最高的精度和精確度。
還沒有評論