二手 CANON FPA 3000 i5 #9086289 待售

CANON FPA 3000 i5晶片步進器是一種精密對準設備，旨在提高吞吐量，滿足下一代設備制造和晶片生產的嚴格要求。該系統采用五軸四鏡掃描光學單元，在光刻過程中實現高精度、高精度的重復性。CANON FPA 3000I5 Wafer Stepper能夠以高精度處理高達4「或6」的晶片。此外，該機還利用先進的光刻軟件實現晶圓對準和晶圓曝光過程的自動化。FPA-3000 I5 Wafer Stepper具有一系列光學和機械特性,旨在在晶圓處理過程中提供準確性和多功能性。機電執行器提供精確的機械運動,使工具能夠產生高質量的圖像和最小的對準誤差。另外，兩組激光模式識別相機為光刻應用提供了高分辨率的圖像采集和數據輸入。該資產還采用先進的對準算法，在光刻過程中精確對準晶圓，正確調整曝光參數。CANON FPA-3000 I5 Wafer Stepper還配備了先進的光學型號，包括高精度成像鏡頭和高分辨率變焦鏡頭，允許精確的焦距調整和曝光階段之間的聚焦匹配。這樣可以確保持續的高曝光精度,並確保在曝光過程中具有高度的可重復性。步進器還利用一種專利曝光設備，將曝光和掃描集成在一個統一的曝光程序中。FPA 3000 i5晶片步進器集成了一個全面的診斷系統。該自動化單元提供各種高級功能，包括靜態圖像模式評估、動態圖像模式評估、激光圖像模式對準、性能評估和曝光參數自動調整。此外,以前流程中存儲和存檔的數據可用於在需要時提供快速高效的流程反饋。最後,FPA 3000I5 Wafer Stepper還具有一系列用戶友好的功能,這些功能旨在減少操作員的工作量並提高效率。完全集成的控件可確保正確控制和優化曝光和掃描過程,而直觀的用戶界面可輕松訪問各種曝光和掃描參數。此外,該機器與CANON激光圖像處理軟件兼容,允許高級曝光和掃描規則配置、數據分析和報告生成。總而言之,CANON FPA 3000 i5晶片步進器是一種可靠且功能強大的工具,旨在滿足最新設備制造和晶片生產過程的嚴格要求。