二手 CANON FPA 3000 i5 #9194604 待售
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單擊可縮放
ID: 9194604
優質的: 1996
i-Line stepper
Console:
EWS: 715/100
Built in console: X-terminal
Auto feeder, 8"
Type 6: Right
PA Type: Flat
Inline
Edge exposure (EBR)
Reticle size, 6"
(14) Library slots
Cassette type: CANON
Option:
BCR: No
CBR: No
PPC,RPC: No
Wafer stage:
Type: Flat
Laser interfermeter: Zygo (No)
Chuck type: 2-Layer pin
Maintenance kit: No
Active mount
Illuminatior: 2kW
Clean chamber:
RASCO /TBW-CD-82
C-Oil level : Normal
UPS: No
Stepper: 3P, 200V, 33kVA
Missing parts:
D-Rack
PCB, P/S
1996 vintage.
CANON FPA 3000 i5是為最先進的半導體應用而設計的高性能晶圓步進器。這臺尖端機器采用了一種獨特的創新技術，稱為改進分辨率圖像計量（IRIM），與其他晶圓步進器相比，其光學性能提高了25%。它具有非常高分辨率的成像設備,可提供最準確的檢查和檢查結果。CANON FPA 3000I5使用高功率5 kW二極管激光器來創建晶圓表面的圖像，能夠以5微米的分辨率進行掃描。IRIM系統使用激光幹涉儀測量晶圓的表面輪廓，並提供1微米深度輪廓的精確測量。這是通過使用衍射光學元件（DOE）將圖像分成四個截面來實現的，然後可以由IRIM單元進行分析以獲得最高精度。機器還使用自動對焦選項來確保檢查的盡可能高的準確性。FPA-3000 I5擁有業界領先的精密對準工具,可提供全方位的精確度,以確保檢查結果的最高質量。資產配備高速旋轉級，確保對準與1微米以內一致，同時也保持1.1微米的精度。它還包括一個能夠驅動多達12個軸的高精度驅動模型，提供半導體行業中最高質量的晶圓對準。該設備還包括多種先進的測量工具，如獲得專利的基於USB的粒子分析系統、高科技的空氣動力學天平，以及用於小顆粒去除的功能強大的散熱器裝置。實時數據收集單元允許連續的數據和圖形分析，給用戶洞察他們的晶圓的條件和性能。佳能FPA-3000 I5是市場上最先進的晶圓步進器之一，提供了令人印象深刻的準確性和檢驗結果。這臺機器的光學性能提高了25%,為當今復雜的半導體工藝提供了最佳的精度。它是尋求最高精度和結果的半導體公司的寶貴工具。
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