二手 CANON FPA 3000 i5+ #9258600 待售
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已售出
ID: 9258600
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Stepper, 8"
PC Model: EWS B180L
Wafer standard: JEIDA
Wafer type: Notch
Reticle type: 6"
Material: Quartz
Changer type: HITACHI
Case type: HITACHI
Optical system:
Magnification: 1/5
Field size: 22 mm
NA: 0.63~0.45
Screen size: 6"
Illumination system:
Ultra-high pressure mercury lamp 2.0 kW
σ: 0.7~0.3
Estimate exposure light control
(4) Independent blades
Wafer loader type: Notch, 8"
Wafer holder type: Notch, 8" TIO2
Wafer / Reticle alignment:
Clear vision field image processing
Wafer alignment:
Alignment light: HeNe Laser / Broad band
Mode: AGA
Reticle alignment:
Alignment light: i-Line
XY Stage:
3-Axes laser interferometer
Stroke:
X: 115mm ~ -115mm
YX: 115mm ~ -115mm
2000 vintage.
CANON FPA 3000 i5+晶片步進器是CANON生產的用於高端光刻操作的先進步驟和重復設備。該系統被列為光刻行業頂尖的光刻系統之一。它是一個完全集成的集成平臺，由基本組件組成：i5掃描儀、鏡頭、標線和成像板。i5掃描儀位於設備的核心。它的工作速度比以前的標準掃描儀快兩倍，而且非常精確。這款掃描儀還配備了CANON高級iMO（智能多級優化）技術，為需要高劑量均勻性和圖像平整度的高級曝光應用提供高度可靠的解決方案。CANON FPA 3000I5+中的鏡頭是一種場展平鏡頭，旨在修正聚焦影像中的像差。這樣可以確保圖像更好的分辨率和一致性。標線為九片類型，旨在同時減少幽靈像差和改善圖像對比度。最後，將成像板與i5掃描儀和鏡頭機集成在一起，以提供穩定、準確的圖像傳輸機制。這種成像板是專門為高端光刻應用而設計的，確保由標線產生的圖樣保持對原始設計的忠實。總體而言，FPA-3000 I5+晶片步進器是一種先進的步驟和重復工具，為晶片光刻解決方案提供了可靠的平臺。憑借其最先進的組件,此資產可為用戶提供盡可能高的圖像保真度和超高劑量一致性。因此，該模型適用於微電子、光電等精密光刻操作。
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