二手 CANON FPA 3000 i5+ #9280839 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9280839
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Stepper, 8"
PC Model: EWS B180L
Wafer standard: JEIDA
Wafer type: Notch
Reticle type: 6"
Material: Quartz
Changer type: HITACHI
Case type: HITACHI
Optical system:
Magnification: 1/5
Field size: 22 mm
NA: 0.63~0.45
Screen size: 6"
Illumination system:
Light source: 2.0 kW Ultra-high pressure mercury lamp
σ: 0.7~0.3
Estimate exposure light control
Masking function: (4) Independent blades
Wafer loader type: Notch, 8"
Wafer holder type: Notch, 8" TIO2
Wafer alignment:
Alignment light: HeNe Laser / Broad band
System: Clear vision field image processing
AGA Mode
Reticle alignment:
Alignment light: i-Line
System: Clear vision field image processing
XY Stage:
System: 3-Axis laser interferometer
Stroke:
X: 115 mm ~ -115 mm
YX: 115 mm ~ -115 mm
2000 vintage.
CANON FPA 3000 i5+是一種高速、小場光刻設備，專為最先進的光刻應用而設計。該系統的兩級光學設計采用高NA、大視場鏡頭,可實現2倍或6倍標線的最高分辨率、最小特征尺寸和最高吞吐量。這種堅固的設備提供5.5毫米的現場尺寸,它基於CANON前沿光機機械設備設計,提供可靠、穩定的操作和廣泛的曝光範圍。而憑借其先進的飛行機器、對準和測量能力，該工具提供了更加輕松的維護和操作。CANON FPA 3000I5+是為了滿足世界領先半導體制造商最嚴格的要求而設計的。它采用業界最高分辨率的投影光學器件,結合先進的劑量控制和測量方法,在300 mm光刻技術中應用最為苛刻。高精度光學單元為高級掃描曝光提供卓越的分辨率和曝光保真度。佳能獨特的不對稱校正技術有助於優化叠加精度，降低小獵物錯誤率。空氣軸承設計提供了高度精確的定位和穩定的操作，允許更高的處理可靠性和產量。先進的X-Y級設計具有閉環位置精度和速度/加速度控制。FPA-3000 I5+還具有許多標準功能和選項,包括多頻對準測量、掃描透焦掃描和專有的曝光控制技術。總體而言,FPA 3000I5+是300 mm光刻應用的理想資產。憑借其堅固的設計、高精度的光學和先進的曝光控制,它非常適合小場光刻,讓您以最低的總成本實現最高的分辨率和吞吐量。智能設計加上全面可靠的性能，使這款車型成為任何尋求先進技術和性能的人的絕佳選擇。
還沒有評論