二手 CANON FPA 3000 i5+ #9296955 待售

CANON FPA 3000 i5+是一種晶圓步進器，旨在以高度精確的方式曝光高達300 mm的晶圓。它具有200毫米片上鏡頭（LOC）模塊，應用領域為36mm，以5納米分辨率提供高精度曝光。步進器能夠處理從6英寸到300毫米的廣泛生產，包括LED、MEMS和其他光電應用。配備3級設備對準自動對焦機構，為晶圓對準提供亞微米精度。此外，內部曝光監視器還記錄每次曝光時的曝光值，為跟蹤系統性能提供了可靠的手段。配備激光幹涉儀光束對準單元，CANON FPA 3000I5+能夠精確對準每一個曝光鏡頭。此外,步進器還具有無傳感器對齊機,可在每個字段上高效對齊多個模具。此工具還提供通過或溝槽對準能力進行鉆探的能力。總體而言,FPA-3000 I5+提高了解決暴露的能力、準確性和可靠性。步進器還提供各種光學和電氣維護選項。這些包括燈控制板、準直器板、反饋放大器板、電源板、冷卻劑配電板和快門控制板。除了這些選項之外，該資產還設計用於保護晶片免受暴露和加工造成的潛在損害。這是通過使用帶有反饋機制和過度劑量保護器的過度暴露控制以及錯誤檢測機制來實現的。FPA 3000 I5++的設計考慮到維護的最小化,每臂總共只有18個部件,而晶圓步進器通常需要25-45個部件。此外,步進器還具有較低的擁有成本以及長期性能的聲譽。以精密光學而聞名的CANON還開發了行業領先的3微米或以下的對準精度，以及平均每小時166晶圓的生產模型。總體而言，CANON FPA 3000 I5++是一種高度可靠和精確的晶片步進器，設計用於生產各種光電生產應用的高質量晶片。FPA 3000 i5+強大的設計、性能增強的系統和選項,以及低擁有成本,旨在為用戶提供可靠、精確的生產需求解決方案。