二手 CANON FPA 3000 i5 #9311794 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9311794
i-Line stepper
Illuminator
Reticle stage, 6"
(2) Reticle senders (Switching)
U-Lens
ZYGO 7701 Laser head: HeNe
CCD OPTF III
Wafer stage: Flat stage
(3) Tilt stage unit: MLEs
(4) Support mount: Active dampers
XY Stage filter: HEPA
(2) A Scope: TTL
B Scope: HRD and Off-axis
C Scope: HRD and Off-axis
OA Scope: Off-axis
RC-40CO Reticle changer
BG4-6735 Reticle robot
BG4-6736 Cassette robot
(14) Cassette libraries
(4) Intermediate libraries
CBR: TOHKEN TCD-8200
PPC
Wafer feeder: Type-VI-R
SCH: Type-VI
PA Unit: Notch, 8"
SH and In-line: Type-VI-R
(2) RBR: TOHKEN TCD-8200
Lamp house: 2 kW
EWS: AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / VERIGY / ADVANTEST 9000 / 712 / 100
UPS: M-UPS010J11W-UL(CE)
Environment chamber:
Chamber: CD-83+
(3) Ceiling filters (Air): HEPA
(2) Power receive box: Box 3 and 1
D-Rack.
CANON FPA 3000 i5是世界領先的晶圓步進器和最先進的光刻系統，專門為DNA納米技術設計。它能夠對100 nm以下的圖樣進行成像,覆蓋範圍小於2 nm,覆蓋範圍高達150 nm,覆蓋範圍小於5 nm。此功能強大的工具非常適合高精度應用,如光掩模陣列、次分辨率光刻、半導體和數據存儲技術。i5晶片步進器的特點是其超高分辨率和動態範圍、高速度和可靠性、低維護成本和易用性。CANON FPA 3000I5主要由照明模塊、晶圓級和圓柱組成。照明模組為晶圓提供了明亮的光源，允許極寬的視野和較大的數值孔徑。光源的高強度與寬視野相結合，使系統能夠以非常高的精度對特征進行成像。此外，光源還配備了一組濾光片，使用戶能夠改變發出的光的波長，從而使用戶能夠控制光源的功率、強度和正在成像的晶圓的光譜靈敏度。晶片級由晶片架、激光二極管對準器、運動軸和z電動機組成。晶圓座穩固地插入和從舞臺上移除晶圓，而激光二極管對準器則提供了一種光學手段，可以快速準確地將晶圓對準舞臺。運動軸和z電動機使用戶能夠在任意方向上精確移動晶片,從而有效地掃描基板的整個視場。舞臺還具有自動重置功能,可以快速回憶各種曝光過程的曝光設置。FPA-3000 I5可通過用戶友好的圖形界面訪問,並由功能強大的車載計算機控制。還可以調整曝光時間、曝光速率和光照強度等操作參數，允許用戶根據特定的制作工藝或應用要求量身定制光刻工具。此外，用戶可以訪問各種自定義選項，允許用戶調整晶圓級的速度和輻照區域的位置。CANON FPA-3000 I5是光掩模制圖、次分辨率光刻和半導體制造工藝的絕佳工具。憑借其高分辨率、動態範圍和效率,i5使用戶能夠快速準確地為眾多應用程序制造設備組件。直觀的用戶界面、可定制的儀器設置以及較低的維護成本使i5成為任何參與制造納米技術組件的工程師或科學家的寶貴工具。
還沒有評論