二手 CANON FPA 3000 iW #293606922 待售

CANON FPA 3000 iW是專門為光掩模製造和檢驗而設計的最先進的晶圓步進器。它配備了一個WaferStepper™，一個機械臂，控制整個光學設備的掃描運動。CANON FPA 3000IW利用先進的光學元件,包括充氮低相幹幹涉測量（LCCI）技術,實現卓越的成像性能和樣品對樣品的均勻性。這種幹涉系統為樣品提供了穩定的背景、精確的聚焦和最佳的照明。該裝置有兩種光源：一種是Argon-Ion激光器，一種是鹵素燈，另一種是光學組件，包括一臺10倍顯微鏡和一臺圖像旋轉機和一個自動變焦鏡頭。FPA-3000IW還具有智能成像和測量軟件,可實現可重復的結果、用於過程驗證的自動文檔生成以及對光學掩碼上的微觀特征的快速實時評估。這是集成通信接口的補充,集成通信接口可直接連接CAD設計和輸出到掩碼布局編輯器。CANON FPA 3000I W能夠快速準確地測量電子束直寫掩碼、電子束光刻掩碼和薄膜STL掩碼的超小型特性，與大多數標準掩碼布局兼容。它集成了濾波器輪和自動聚焦功能,使其成為一個強大可靠的成像平臺,可實現高級掩模功能。CANON FPA-3000 IW是生產環境中的理想主力，其高吞吐量和亞微米分辨率以及檢測缺陷的能力相結合。CANON FPA-3000IW具有快速的成像和處理時間以及易於使用的自動化能力,非常適合用於口罩制造和半導體生產。