二手 CANON FPA 3000 iW #9151772 待售
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CANON FPA 3000 iW是具有卓越性能和可靠性的最先進的晶圓步進器。這種晶圓步進器用於半導體器件的製造,包括光刻工藝,並設計為高精度和精確度。它能夠達到100 nm的分辨率,並具有0.33NA的照明設備。CANON FPA 3000IW晶片步進器是一種先進的設備,旨在提供生產就緒的光刻工藝。此設備能夠執行單曝光和雙曝光過程,以及步進重復和群集工具。它具有100 nm的超短曝光點直徑。這種高度緊湊的系統設計獨特,以優化空間利用率。FPA-3000IW還具有提供三軸同步和快速沈降時間的舞臺設計。這使得每個模具都能精確對準。它還有一個經過優化的級冷卻器裝置,即使在不斷變化的條件下也能確保過程的穩定性。還包括一個內置的主動對齊機,以確保光刻場的高精度對齊。內置的FPA圖像投影光學器件設計用於在衍射受限透鏡中在一定範圍的T上提供清晰的圖像生成。它還提供了就地模式註冊。此外,先進的照明工具被設計成對曝光區域進行精確的相等照明。CANON FPA-3000 IW具有強大的設計,具有高度的可靠性和正常運行時間。它提供了一種基於軟件的資產,用於檢測和糾正故障和其他錯誤。此外,它還采用了允許靈活集成不同操作系統和高速數據傳輸的設計。最後,FPA 3000I W晶片步進器是一種用於制造半導體器件的先進器件。它具有0.33NA的照明模型和100 nm的超短曝光點直徑,能夠實現高精度和高精度。它具有優化的級冷卻器設備和主動對準系統.此外,這種裝置具有強大的設計,是非常可靠的,並提供了一個有效的單位進行光刻工藝。
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