二手 CANON FPA 3000 MR #293817802 待售

CANON FPA 3000 MR是CANON為先進半導體應用開發的一種精密晶圓步進器，作為其FAB系列的一部分。晶片步進器是專門為滿足先進光刻技術的挑戰而設計的,包括對越來越小的特性的要求、更快的吞吐量和更高的精度。FPA 3000 MR能夠同時暴露多個晶片上的解離層，對準精度為0.40微米，聚焦深度高達0.5微米。此外,CANON FPA 3000 MR還采用了CANON專有的多焦點驅動機制,即使在極端溫度變化的情況下也能提供快速、精細的曝光。這樣可以確保出色的對比度,並允許各種曝光形狀和尺寸。晶片步進器具有增強的高通量聚焦控制設備，利用時空噪聲分析在曝光序列過程中優化焦點。FPA 3000 MR還提供了兩種先進的光學系統，包括能實現更高分辨率和更小歸一化重叠的High NA（數值孔徑）系統，以及用於暴露密集圖案的無反向散射和多棧單元。CANON FPA 3000 MR的分辨率範圍可高達75 nm,可容納的晶圓尺寸為175 mm （8英寸）。這種步進器還得益於佳能著名的精密控制技術及其無與倫比的工藝傳感精度。它提供環境保護，還可以與各種材料、形狀和尺寸以及各種化學工藝一起使用，使其成為廣泛行業的理想選擇。此外,FPA 3000 MR具有集成的可追蹤性機器,為質量評估和過程分析提供了寶貴的數據。佳能獨特的先進晶圓處理技術，結合快速、精確的對準工具，保證了高吞吐量、穩健的過程控制和全面的可追蹤性。總體而言,CANON FPA 3000 MR是來自CANON的高級、高度通用和精確的晶圓步進器,非常適合要求高精度、更快吞吐量、極端溫度變化和高對比度成像的行業。