二手 CANON FPA 3000 #293828112 待售

CANON FPA 3000是為高級IC檢測和光刻而設計的晶圓步進器。它配備了一個雙級、高精度的機動化標線級，旨在提高吞吐量，提高精度，減少振動。CANON FPA-3000的高性能光學設備采用六透鏡設計，用於校正昏迷、場曲率、色差和失真等像差，以提高成像性能和打印精度。晶片步進器使用內置的自動對齊器來檢測模具特征並對齊晶片。對齊器能夠檢測到小至四分之一微米分辨率的特征，而自動對齊功能可以用來對齊晶片，精度高達50 nm。此外，晶圓步進器還具有內置的叠加系統，以確保晶圓表面的精確跟蹤。FPA 3000每次射擊最多可打印六個目標,具體取決於晶圓的大小。打印分辨率高達10 nm，步進器配有波長可調激光二極管，旨在保持一致的曝光強度，確保優化的對準性能。為了減少振動，FPA-3000配備了阻尼振動臺和集成隔離單元。這臺臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式臺式晶片步進器還具有專利的超低F值-3物鏡，通過最小化由於內部透鏡反射引起的像差來提高精度。CANON FPA 3000能夠打印各種曝光波長，從深紫外線（DUV）到可見（VIS）。它配備了一個內置的激光功率計，用於精確的曝光測量和控制。晶圓步進器還包括幾種嵌入式檢查應用，包括臨界尺寸（CD）測量、缺陷審查和模式分析，以及一個後光刻圖像分析算法庫。總體而言，CANON FPA-3000晶片步進器是一種強大的光刻機，可用於先進的IC檢測和光刻。其先進的特點包括雙級、高精度的電動標線級、優化印刷精度的自動對準、波長可調諧激光二極管以及幾種嵌入式檢測應用。FPA 3000旨在實現精確的打印結果，其內置的激光功率計確保精確的曝光控制。