二手 CANON FPA 3000 #9145280 待售

CANON FPA 3000是一種先進的晶圓步進器，旨在創建半導體制造的高精度模式。佳能FPA-3000具有高吞吐量、精確對準和強大的成像技術,是生產任何半導體的理想工具。FPA 3000通過其自動光束對準（ABA）技術提供了無與倫比的高架視圖光學成像。該設備使用專有軟件算法來指導掃描儀，從而提高了吞吐量和更精確的掩碼放置。ABA還通過全場自動聚焦系統（AF）提供自動聚焦。該單元最大限度地減少焦平面變化，顯著減少焦點偏移，從而降低先進半導體器件的圖像質量。FPA-3000還配備了自動校準機（ACS）。ACS使用三維納米探針傳感器來精確控制像位置和對比度這樣的成像參數。這樣可以實現高度均勻的曝光,保持多層圖像質量。此外,它還可以糾正透鏡像差引起的高頻對準誤差,以及動態頻率變化,以匹配具有高對比度成像需求的圖層。CANON FPA 3000還具有高分辨率色彩校正超高對比度面罩（CHCM）功能。CHCM利用專門的掩模技術,即使在具有挑戰性的先進半導體結構上也能顯著降低線緣粗糙度並保持高精度成像。此外,佳能FPA-3000還配備了光學密度控制機構（ODCM）,可根據所蝕刻的材料調整光源的強度。這會產生高度均勻的圖案深度,並有助於產生高產、高性能的影像。最後,FPA 3000提供詳細的在線技術支持,以幫助用戶充分利用其功能。直觀的用戶界面允許輕松訪問許多功能，簡化了機器的設置和運行過程。總的來說，FPA-3000是一個強大的晶圓步進，可以創建精細，精確的光刻圖樣，速度和方便。它具有先進的成像和自動對焦功能,是要求先進成像性能的高級半導體制造商的理想選擇。