二手 CANON FPA 3000 #9145281 待售

CANON FPA 3000是一種高性能、多功能的晶圓步進器，能夠處理廣泛的生產需求。該設備旨在提高吞吐量和降低制造成本,同時保持高精度和精確度。CANON FPA-3000采用模塊化設計,將主要組件組裝成單個框架。它利用先進的透鏡系統和四級衍射頭組件創造出更高水平的光學性能。該單元能夠基於晶格的圖樣，還可以提供離軸照明，進一步提高分辨率和精度。這使得理論上無限數量的特征能夠被陣列化到柔性基板上。步進器能夠處理各種晶圓尺寸，從125mm到650mm不等。其最大精度為0.1微米，時速高達65晶圓。步進器還能夠以14微米步進/重復精度精確光刻。這是由一臺集成對準機支持的，可信分辨率為3微米，活動面積為1.9毫米x 1.9毫米。FPA 3000進一步配備了完整的高端功能，包括內置的旋轉級、可編程的標線滑軌和基於CCD的對準工具。FPA-3000設計為高度可靠和堅固。它具有使用壽命長的LED光源、先進的空氣沖洗等功能，旨在減少停機時間，延長關鍵部件的使用壽命。它還圍繞一個與潔凈室兼容的存儲模塊進行設計,以保護其內部組件免受任何潛在汙染物的侵害,並確保最佳性能。集成控制器支持CANON FPA 3000的精確運行，提供了一個用戶友好的圖形界面，方便快速操作。控制器還提供日誌記錄和診斷功能,並且能夠遠程操作。綜上所述,佳能FPA-3000是一種功能強大且可靠的晶圓步進器,旨在滿足廣泛的生產需求。其先進的鏡頭資產、高精度、堅固的構造使其成為精確光刻和提高生產率的絕佳選擇。