二手 CANON FPA 3000 #9152188 待售

CANON FPA 3000是一種用於半導體制造的高性能、經濟高效的步進器。該裝置具有較高的吞吐量，能夠減少缺陷和提高產量。它支持一系列技術，從3D堆疊芯片和嵌入式光刻到低k介電材料和多層掩蔽。CANON FPA-3000的核心是一種全自動步進器，它可以使用激光束將有圖樣的曝光傳遞到基板上。它使用獨特的高動態分辨率（HDR）系統,可提供高速、高分辨率的圖樣圖像,用於超快速、無工件的蝕刻。該設備具有高精度、高吞吐量和高穩定性。FPA 3000的擁有成本很低,而且針對特定的客戶需求,還提供了廣泛的優化功能和先進技術。該設備可與客戶需求和縮放幾何形狀集成,例如用於大容量生產SOI（絕緣體矽）晶片的復雜屏蔽技術,以及其他具有挑戰性的應用。FPA-3000具有獨特的多模式分割曝光方法（MPSE）,可以容納具有不同類型光學元件或標線的復雜模式。這使得它在3D集成芯片生產中特別有用。此外,其圖像改進系統（IIS）提供了可靠的無缺陷功能,這對於大批量生產至關重要。CANON FPA 3000還有多種降低系統使用壽命運營成本的方法。通過使用不需要頻繁更換的激光束,其消耗性成本保持較低,而由於其緊湊型紫外線（CUV）技術大大降低了常規維護要求,其維護要求保持較低。綜上所述,CANON FPA-3000步進器提供高性能、經濟高效以及一系列先進技術,使其成為大容量半導體生產的一個有吸引力的解決方案。該設備具有高精度、高吞吐量和高穩定性,無論小生產線還是大生產線都能受益。它還內置了MPSE和IIS等功能，可以提高整體產量。此外,它的低擁有成本和最低的維護要求使其成為半導體行業的一個有吸引力的選擇。