二手 CANON FPA 3000 #9384377 待售

CANON FPA 3000是為高級光刻工藝而設計的高性能晶圓步進器。這臺機器在半導體工業中被廣泛用於制造顯微鏡下的小芯片，以及用於光學薄膜和光掩模的生產。它能夠處理直徑可達450mm、曝光面積可達375mm的晶片。CANON FPA-3000配備了使用專有晶體鏡系統和光學列車的先進成像設備。這樣可以確保成像過程精確準確。它還利用高精度電機移動聚焦透鏡和鏡面，進一步提高精度。該機器能夠執行各種各樣的過程。這些包括蝕刻、光刻塗層、成像和視覺檢查。它還能夠進行多曝光光刻工藝。這臺機器還配備了識別多種圖樣圖像的能力，可以進行亞微米和納米成像。該單元利用專有軟件程序來控制與每個進程相關的曝光、對齊、分析和報告作業。該軟件還可用於訪問設備參數，從而可以精確控制每個流程。此外,該軟件還可用於執行維護任務,例如清潔、校準和預防性維護。FPA 3000還提供了更好的安全和環境保護。可配備滅火機、緊急關機、高壓測試工具等內置安全功能，確保人員和設備安全。它還具有溫度控制的幹蝕刻資產，以減少有害物質排放。總體而言，FPA-3000是一種高度先進的晶圓步進器，旨在實現最佳性能，並用於半導體工業中的光刻工藝。它提供了更高的準確性和安全性，以及各種工藝選擇。這使得它成為制造微觀小型電子元件的理想選擇。