二手 CANON FPA 5000 AS2 #136492 待售

CANON FPA 5000 AS2是用於半導體制造的晶圓步進器（又稱曝光工具）。它是CANON電子束技術家族的一部分，是微芯片行業光刻工具的領導者。FPA 5000 AS2是一種頂級工具,能夠滿足原型和生產晶圓的需求,提高了生產效率和卓越的圖像質量。CANON FPA 5000 AS2的曝光能力設計用於步進和重復以及連續晶圓步進過程。其曝光技術包括掃描電子束（SEB）和飛行點曝光兩種方法。Flying Spot曝光法使用靜態電子束和鏡頭設備的移動投影，以高精度、高精度提供高通量。FPA 5000 AS2上的曝光系統配備了自動對準裝置，可大大加快處理時間，同時確保對準精度。自動對齊機使用自動對齊標記檢測工具,以防止晶圓未對齊或扭曲晶圓可能導致的圖樣不對齊。CANON FPA 5000 AS2的光束位置控制資產通過其自動模式跟蹤模型提供了更大的靈活性。該設備可以使用外部反饋信號跟蹤模式並進行校正。此外，FPA 5000 AS2的光束監測和控制系統能夠在整個制造過程中保持預定的光束參數。CANON FPA 5000 AS2的大掃描尺寸和高分辨率成像能力使其能夠產生具有可接受的圖像保真度級別的圖像,用於廣泛的晶圓制造。它的高分辨率成像也保證了圖像顯示出優越的對比度和清晰度。FPA 5000 AS2的低能晶片材料弱點被刀具的低能SEB系統和低SEB腔室電壓最小化。低SEB腔室電壓確保基板的熱感應應力最小化，從而保持了器件規格和屈服。該FPA-5000包括一個配方歸檔單元,允許客戶訪問和存儲設置配方。此功能允許客戶自定義配方文件以更好地滿足他們的需求。CANON FPA 5000 AS2也可以使用pseudo-O2代替O2。由於取消了中間步驟,Pseudo-O2減少了總處理時間。此外,FPA 5000 AS2還包括多級標線交換功能。由於同時加載和卸載標線,這減少了周期時間。總體而言,CANON FPA 5000 AS2晶片步進器是滿足原型和生產晶片需求的頂級工具。其特點提供了卓越的圖像保真度、低能晶圓材料的脆弱性、提高的生產率和提高的對準精度。