二手 CANON FPA 5000 ES #9200127 待售

CANON FPA 5000 ES是一種前沿光刻晶片步進器，旨在使制造商能夠準確高效地生產半導體器件。它具有5微米的分辨率，使它能夠產生高分辨率的線/空間特性，寬度低至0.25微米。這使得它適合制造大容量和先進的半導體器件。FPA 5000 ES的外部尺寸為2710 x 1750 x 1625 mm，標準場尺寸為50.8 x 50.8 mm。步進器的電源是行業標準的AC100/AC200電壓範圍,具有可選的DC/AC300電源升級功能。CANON FPA 5000 ES具有利用0°、90°和277°的場角覆蓋全50.8 mm場區的三鏡頭設計。4.0倍的光學放大倍率使步進器具有最大的聚焦深度和較高的圖像高度精度。FPA 5000 ES使用三級遠心照明設備,可精確放置光刻特征而不會出現耀斑。全場區域的光照強度和均勻性均可調節，便於制作出優化的光刻圖案。CANON FPA 5000 ES以其多投影成像系統，可以同時暴露多種場大小，同時保持場對場曝光的高均勻性。還可以根據平版印刷作業在不同時間曝光不同大小的字段。除了其標準特性外，FPA 5000 ES還有一個可選的FPD模塊（平板顯示器）用於玻璃的光刻。該模塊允許以高精度的平面模式曝光，從而能夠制造結構小巧尖銳的半導體器件。CANON FPA 5000 ES是一種強大的晶圓步進器，以其卓越的分辨率和與多光刻系統的兼容性而著稱。其節能操作模式、先進的照明單元和Multi-Projection成像機使其成為生產高容量、高質量半導體器件的卓越工具。