二手 CANON FPA 5000 ES2 #293817781 待售

CANON FPA 5000 ES2是世界上精度和分辨率最高的超高精度晶圓步進器。它能夠在最先進的幾何形狀和設計上捕捉半導體器件的亞微米模式。FPA 5000 ES2配備了CANON專有的超高分辨率照片映射設備（UHRM）,可實現0.25um （90nm）分辨率的精確成像,覆蓋精度為0.1微米（30nm）。先進的光學設計和先進的高波紋透鏡塗層，減少了像差，有效糾正了色差和lrfocus失真。高功率LED照明系統與優化的晶圓透鏡和鏡框緊密集成，確保精確曝光時間、可重復性和最佳成像效果。CANON FPA 5000所使用的高度精確可靠的直線電動機ES2允許晶圓級極精確且可重復的微動和暴露時間。電機驅動的晶片級對準0.02微米的精度，並自動進行自我調整，以確保精度和性能，無論軌道隨時間的變化。FPA 5000 ES2還包含了CANON獨特的自學控制單元,該單元可識別設備模式的特征並優化曝光以適合它們。這臺創新的機器可以提供出色的圖像均勻性和卓越的圖像質量。晶圓步進器還具有用於協調半導體器件生產的先進自動化工具。該軟件可以與當前的工廠系統集成，可以根據生產環境的具體需求進行定制。總體而言,CANON FPA 5000 ES2是生產最復雜的半導體器件和組件的理想工具。其先進的成像功能、精確的直線電機和運動控制,以及自動化的生產系統,使其能夠在要求苛刻的情況下提供最佳性能。