二手 CANON FPA 5000 ES2+ #9182356 待售
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CANON FPA 5000 ES2+是為高吞吐量、高精度、低擁有成本而設計的下一代晶圓步進器。它采用大光圈、大畫幅光學設備,配有先進的光學元件、透鏡和光學元件,可實現最前沿的對準和曝光精度。ES2+利用先進的對準系統來確保批次的準確性和可重復性，而新的圖像和掩碼數據處理能力提供了優越的靈活性和晶圓生產速度。此外,ES2+還提供多種基板,板載機器人能夠處理尺寸高達850 mm的框架。CANON FPA-5000 ES2+采用Superior Dynamic Focus™技術,旨在消除手動調整焦點的需要,消除操作員出錯的可能性,同時保持最精確的光刻聚焦。此外,ES2+還具有先進的模模慣性對準和優越的現場曝光設置優化,從而可以更高效地設計復雜的設計。板載數據處理和質量控制過程確保從設備出來的圖像沒有缺陷,並且完全符合規範。ES2+具有相當直觀的用戶界面，有多種模式允許用戶微調曝光設置和其他參數。具體來說,該機器允許用戶對全局、本地或基於模具的設置進行精細調整,並為特定的模具類型設置平版印刷參數,這種功能在大多數其他晶片步進器中不可用。此外,FPA 5000 ES2+還具有許多其他功能,可提高吞吐量和準確性。該工具提供了可自定義的加載/卸載和替換過程設置,從而提高了生產吞吐量和靈活性。此外,該資產還支持擴展位以實現更精細的分辨率,並具有40 nm的模式對齊精度。最後,ES2+與多種數據格式兼容,包括光學、磁性和電氣,以確保與各種CAD/CAM/CAE系統兼容。綜上所述,FPA-5000 ES2+是一種通用的高通量晶圓步進器,旨在為各種基材材料和圖樣提供最佳性能和精度。高級對齊、曝光和數據處理功能使ES2+成為生產過程的理想模型,在經濟高效的軟件包中要求高精度。
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