二手 CANON FPA 5000 ES2 #9200128 待售

CANON FPA 5000 ES2晶圓步進器是一種先進的成像設備.它旨在將高分辨率、高精度的圖樣傳遞到單個晶圓上。步進器由四個部分組成：光源、投影透鏡系統、場透鏡單元和圖樣發生器。光源裝有大功率燈、放大的縫隙和像素以及光源冷凝器。投影鏡頭機采用折射工具排列的多個鏡頭，提供可靠的投影影像。現場透鏡資產由兩個機動化的傾斜旋轉倒數範圍（TRRR）級組成。這個階段補償晶圓表面的圓柱形畸變，提供了整個晶圓上準確的圖案放置。TTLI模式生成器生成一個二進制模式，傳遞到投影透鏡模型。設備最大分辨率為0.34 µm,圖樣尺寸可達22 mm x 22 mm。加上晶圓步進器，CANON還提供了現場對準和定位系統、低振動環境系統、自動化遠程操作等其他附件的套件。FPA 5000 ES2提供了市場上最高的精度和準確度。它被用於LED、半導體、半導體互連等各種應用。它是研究和生產實驗室的理想選擇。