二手 CANON FPA 5000 ES2+ #9200129 待售

CANON FPA 5000 ES2+晶圓步進器是為先進的半導體器件制造而設計的最先進的光刻解決方案。它是ES2系列晶片步進器的最新發展，提供了改進的成像性能和更高的生產率。作為以考試為中心的設備,CANON FPA-5000 ES2+設計了一套令人印象深刻的功能,可幫助用戶實現其設備制造目標。FPA 5000 ES2+的掃描階段是系統的核心,具有超精密的掃描軸伺服驅動器,可通過極低的角加速度和速度波紋確保平滑運動。這提供了出色的叠加性能和長期穩定的叠加測量。該單元還具有大視野（FOV）功能,最大面積可達17英寸見方。具有850微米/秒的高掃描速度,可實現快速吞吐量。FPA-5000 ES2+的光學器件設計結合了高性能和穩定性。它在0.8 µm處提供較大的聚焦深度（DOF）和達到50 mm的先進數值孔徑（NA）。它還具有良好的曝光均勻性,在0.5°傾斜角和50 mW/cm2時具有0.2%的長期穩定性（LTS）。為完成這臺機器，CANON FPA 5000 ES2+配備了先進的氙和氙光源，在不受環境條件影響的情況下提供卓越的光學性能和穩定性。它還提供了一個自動化的TOPSENCHECK AXIS工具,在設備制造過程中提供精確的樣品對準。除了出色的性能外,CANON FPA-5000 ES2+還提供出色的資產維護和文檔功能。它包括一個精巧的實時SmartScope API，允許用戶查看、監視和控制顯微鏡組件，而集成的掃描電子顯微鏡（SEM）軟件包使查看和觀察橫截面數據更容易進行過程分析。總而言之,FPA 5000 ES2+是一款先進的晶圓步進器,它具有改進的成像、性能和維護功能,可用於先進的半導體器件制造。憑借其最先進的技術，FPA-5000 ES2+是最可靠的晶圓步進器之一，用於高分辨率成像、長期穩定和高吞吐量。