二手 CANON FPA 5000 ES2 #9273145 待售

CANON FPA 5000 ES2是一種高分辨率晶圓步進器,具有65納米的特征尺寸分辨率。它是一種浸入式幹步進設備，在240nm的歧管中使用發射紫外線光源。它使晶體管、電容器、二極管和其他半導體元件的微細加工具有很高的精度和速度。該系統還支持覆蓋對準，對準精度± 1.2nm，晶圓定位精度± 1.2nm。此單元包含蒙版對準機（MAS）、具有564mm視場的4K CCD相機和Precision Stage。MAS具有用於高分辨率陣列的浸入式光學布局,最大尺寸為519.2mm x 529.2mm。它為大批量生產提供了優化的成像性能和出色的穩定性。4K CCD相機提供了擴展的動態範圍，以實現卓越的成像精度和更高的掩模對比度。4K CCD相機具有非常低的噪聲特性，減少了需要存儲的數據量，同時提供了出色的分辨率。Precision Stage提供了一個快速、精確、高度可靠的工程平臺，用於精細的對齊和精密的微加工操作。它提供5 nm的最大分辨率,用於超精度陣列。FPA 5000 ES2帶有智能曝光控制（SEC）,可確保可重復性並實現高吞吐量。它還具有可調節的布局優化因子,以增強檢測掩模陣列中的缺陷或錯誤的能力。該工具易於維護,並具有內置的自動傳感資產,可自動處理最佳曝光設置。它可以由多個用戶同時操作，每個用戶都可以自定義他或她的設置。該機還提供測試和生產印刷品的自動修剪和修理。它具有全彩色視圖模式和實時叠加模式，用於準確評估標線圖案和小型設備組件。還提供了一系列硬件和軟件更新,以提高安全性、最大可用性以及應對最先進的生產挑戰的能力。