二手 CANON FPA 5000 ES3 #293588073 待售

CANON FPA 5000 ES3是一種5微米最先進的晶圓步進器，配備了多項高級功能。為生產環境設計，是高效多項目晶圓加工的理想選擇。其先進的光學設備利用高敏銳度、低失真、衍射光學元件和快速級機構，以高通量速率提供快速、精確的對準和測量。CANON FPA 5000ES3還配備了先進的自動聚焦系統，以確保在任何和所有光學條件下均勻聚焦樣品，確保精確測量和對準。其完整的掃描線和精確的陣列圖像放置提供了高級應用程序所需的最高流程重復性和性能。FPA-5000 ES3包含一個功能強大的晶圓映射單元,支持全晶圓映射以及劑量、對準和聚焦等關鍵參數的局部晶圓映射。此功能允許關鍵結構的精確曝光後對齊,從而消除了由於特征未對齊而產生的潛在屈服問題。FPA 5000 ES 3還包括一個功能強大的圖像註釋器，可以快速準確地定位和測量晶圓上的關鍵結構。此功能非常適合計量,有助於加快故障分析過程。此外,CANON FPA 5000 ES 3還具有許多環境控制功能,如自動環境監測和精確溫度控制,這對於確保整個晶圓制造過程中的精確晶圓加工條件至關重要。最後,FPA 5000ES3是一種先進的晶圓步進器,具有滿足任何生產環境中最苛刻和嚴格要求的特性和功能。其先進的光學機器和圖像註釋功能確保精確的測量、對準和映射。此外，其全面的環境控制特點確保了整個晶圓制造過程中準確、統一的工藝條件。