二手 CANON FPA 5000 ES3 #293592110 待售

CANON FPA 5000 ES3是下一代晶圓步進器，旨在為大批量生產提供卓越的精度和吞吐量。CANON FPA 5000ES3利用先進的掃描模式和精確的電動機控制，以最小的偏差或像差在曝光平面上快速移動甚至最精細的晶片。步進器允許高放大倍率和大曝光場，對於暴露更小、更復雜的轉移掩碼至關重要。FPA-5000 ES3包含一個先進的控制設備，利用嵌套可變塊最大限度地提高吞吐量和保持準確性。控制系統提供了固定模式和可變場放置的宏觀曝光，以減少噪聲和產生更高的產量。CANON FPA-5000 ES3具有擴大的光場，用於更大的掃描，這有助於降低缺陷率。步進器能夠一致的自動對焦處理，使用非基於PDF的算法來確保連續對焦精度。FPA 5000ES3還包括安裝在精確級上的高性能光學器件,該級既穩定又可高度重復,以實現精確的對準和曝光定位。CANON FPA 5000 ES 3具有先進的晶圓曝光單元，可達到低至0.25微米、線寬低至0.25微米的分辨率。步進器具有4k線間距曝光功能,可實現更快、更精確的傳輸,並具有擴展的視口,有助於減少不需要的光擴散。FPA 5000 ES 3利用自動對準和曝光間隙調整來減少錯誤並提高標線存活率。FPA 5000 ES3擁有先進的快門機，能夠在高強度光線環境下承受曝光，能夠精確的曝光時間和強度控制。步進器配備了最先進的缺陷檢測工具，有助於識別暴露晶片的潛在缺陷。為確保可靠性和使用壽命,CANON FPA 5000 ES3由最優質的材料構成,包括過濾和維護資產,以確保在機器的整個生命周期中都達到最佳性能。CANON FPA的精確度和先進的性能5000ES3使其成為高容量和精密晶圓生產的必要工具。憑借其優化的性能、卓越的吞吐量和卓越的缺陷檢測功能,FPA-5000 ES3能夠以最少的浪費來降低每臺設備的周期時間和成本,從而為高級且經濟高效的晶圓處理需求創造了理想的解決方案。