二手 CANON FPA 5000 ES3 #293609498 待售

CANON FPA 5000 ES3是利用高精度光刻技術進行微加工的晶圓步進器。它是一個模塊化的設備，可以針對特定的應用進行定制，它提供了高產率和吞吐量以及卓越的總擁有成本。系統的主要部件是步進核心、主級、標線級、曝光單元和烘幹機/塗層。步進核心由一個微步進平臺和一個液晶裝置（LCD）微磁盤播放組成，允許用戶選擇和查看圖像。步進核心還配備了高分辨率編碼器，以實現精確的晶圓對齊。主級有兩個用於晶圓對準定位的高分辨率驅動軸。它具有超高精度的空氣軸承結構，進一步提高了精度。主舞臺還有一個內置的自動裝載機和一個環境室，以保護機器免受環境波動的影響。標線級有兩個線性電動機，用於標線在X、Y和Z方向上的平滑精確運動。配有高功率激光二極管，用於最佳激光對準。該標線架設計為最佳的偏轉穩定性，並消除了標線效應。曝光工具配有用於高速照明的各向同性等離子體源和用於改善圖像質量的圓形偏振照明資產。它還具有先進的控制系統和用於晶圓對準和成像的軟件。CANON FPA 5000ES3還包括一個烘幹機/塗層模型，該模型利用直接壓力和真空將光致抗蝕劑塗覆到晶圓上。烘幹機/塗料設備由溫度控制，提供均勻的塗層和幹燥。總體而言，FPA-5000 ES3是一種高精度的晶圓步進器，它提供高產率、吞吐量和卓越的總擁有成本。它的模塊化設計便於定制和升級,而其先進的控制系統和軟件則可實現精確的光刻成像和標線對齊。