二手 CANON FPA 5000 ES3 #9104392 待售

CANON FPA 5000 ES3是一種先進的晶圓步進器,專為精確、經濟高效的光刻而設計。它具有先進的空氣軸承技術，可以對步進器的部件進行高度精確的定位。CANON FPA 5000ES3采用工業級材料制造,堅固可靠,持久耐用.步進器由200W激光設備提供動力，可容納各種晶圓大小和形狀。這使得它能夠有效地在平坦和不規則形狀的基板上產生精確的圖案。激光系統的相對曝光精度小於0.2微米，曝光可重復性小於0.3微米。步進器還利用高精度、非易失性、非磁性的激光編碼器。此編碼器可確保步進器始終生成所需的精確模式。還有一個多軸閘門單元，使得在曝光方向之間快速切換成為可能。這樣就可以輕松生成極其復雜和復雜的模式。FPA-5000 ES3還采用了業界領先的對準機器，它利用了多種激光幹涉儀和線性編碼器。這使步進器有能力有效對準精確度小於1微米的晶片。這使用戶確信他們的模式和層次將是可重現和精確的。此外，該步進器還具有內置的源控制工具，確保激光束始終處於最佳強度範圍。CANON FPA-5000 ES3還為用戶提供了一整套檢查工具。它可以準確檢測肉眼看不見的汙染點。這使得它能夠消除任何可能導致嚴重合規性問題的錯誤點來源。此外，步進器還能檢測到微粒汙染，否則會減慢生產過程。最後,FPA 5000 ES 3提供了廣泛的選項和附件,允許對其進行定制。這使其成為任何需要專業光刻技術的客戶的理想產品。其先進的功能、強大的設計和整體性能使其成為那些希望提高生產效率和降低成本的人的絕佳選擇。