二手 CANON FPA 5000 ES3 #9114874 待售

CANON FPA 5000 ES3是一種晶圓步進設備，在半導體集成電路的生產中提供精度和精確度。它采用掃描對準光學系統設計，在整個電路層上掃描兩個垂直距離，以精確對準其位置。該單元采用了改進的鏡頭設計，在200毫米的活動面積上具有3.5微米的精度。它還具有三個獨立的光學和照明系統，能夠實現更高分辨率的成像和更大的動態範圍。CANON FPA 5000ES3包括一個高速晶片處理程序,它提供自動對齊和快速晶片轉換以及加載和加載功能。利用納米分辨率對晶圓上的重叠圖像進行電機驅動曝光，保證了更高的均勻性和準確性。機器的掃描面積在10到200毫米之間，能夠處理多達200毫米的基板。此外,FPA-5000 ES3利用軟件控制的電動級,能夠實現z軸運動的+/-0.1µm λ/10）可重復性。這一特點得到了其光學對準技術的進一步補充，以提高精度和優越的圖像質量。該工具擁有一項專利激光照明資產，它結合了近紅外激光掃描和白光成像，為高精度叠加測量提供了卓越的對比度和分辨率。它還有一個獨特的晶圓處理模式，同時支持8英寸和12英寸的基板。FPA 5000 ES3還提供高級自動化功能,例如自動對齊、自動加載和自動測量功能。其獲得專利的激光對準設備可以提高每層的精度。此外,該系統還配備了光機設計,無需單獨使用顯微鏡,從而實現更高的吞吐量。FPA 5000ES3提供多維自動換擋、輔助透鏡、高壓泵等一系列升級和配件，以更好地控制顆粒。它的高級診斷功能使用戶能夠快速發現問題並采取適當的糾正措施。它的軟件用戶友好，在處理晶片材料和基材時單元高度可靠。也可用於晶圓加工、微加工、光刻等應用。