二手 CANON FPA 5000 ES3 #9147053 待售

CANON FPA 5000 ES3是晶圓步進器，一種先進的半導體光刻設備，用於集成電路制造中的光刻工藝。它提供了多種成像性能特性，包括高精度的掩模對準和暴露的晶圓對準。CANON FPA 5000ES3使用步進式曝光系統對晶圓上的芯片圖樣成像。該單元采用254 nm鏡頭，數值孔徑為0.52，全反射照明機，平頂場照明器。該工具的有效分辨率為0.35 μ米（2400點/英寸）。FPA-5000 ES3有一個大型的500萬像素傳感器，可以檢測光學放大的配準標記，以及一個三眼對準資產與自動對準。其圖像失真特性可以糾正晶圓的不準確性,從而確保最大屈服率.它還配備了一個自動聚焦模型，方便準確和一致的成像。此外，它的石英玻璃結構確保了高精度的步進和重復操作，並且支持晶圓的自動居中。CANON FPA-5000 ES3設計用於處理各種晶圓尺寸，包括100毫米、125毫米、150毫米、200毫米和300毫米。利用P-MBE采集軟件增強流程。P-MBE控制晶片加載和卸載、曝光、光學計量和其他過程，以優化產量。設備采用多種輕型盾幕等安全機制設計，確保人員安全。它的控制軟件還利用一個綜合流程監測系統來提醒人員註意任何單位的故障。CANON FPA 5000 ES 3配備了先進的軟件，以提高吞吐量並實現可重現的成像結果。這臺機器也是可定制的，允許用戶微調他們的成像參數。最後,它具有用戶友好界面和強大的流程管理功能。FPA 5000 ES 3是先進光刻工藝的完美解決方案,因為它提供可靠的性能和質量輸出。