二手 CANON FPA 5000 ES3 #9200130 待售

CANON FPA 5000 ES3是一種最先進的半導體晶圓步進器，旨在滿足各種集成電路（IC）晶圓生產需求。此步進器的基板尺寸為300 mm,可為增加的整體晶圓輸出提供高吞吐量。CANON FPA 5000ES3具有高達18mm x 18mm的掃描場大小,為復雜和高密度電路模式提供高分辨率成像。這對於混合邏輯設備的生產和高級內存設計尤其有利。步進器的先進光學設備具有5倍、10倍和20倍的光學柱放大倍率範圍,在最長的柱配置下可達到1.35 nm的最小線寬。FPA-5000 ES3采用先進的雙蒙特卡洛算法，實現了½微米聚焦深度的先進聚焦深度控制。此步進器還可實現最大的正常運行時間和工作效率。它具有一個帶有「後續」照明和陰影傳感器的「不丟失時間」故障切換系統，它允許在發生故障時進行另一次操作。步進器包含一套視覺傳感器，用於晶圓的精確對準和曝光時間校正，以及一個額外的在線檢測單元，用於檢測曝光過程中的任何潛在缺陷。CANON FPA-5000 ES3能夠處理多種晶片類型,如絕緣子矽（SOI）、玻璃矽（SOG）或它們的任意組合。此外，步進器還具有保護敏感晶片的特性，例如，對曝光頭進行高級隔振，防止曝光時振動引起的故障。該設備設計易於維修和快速維護。直接訪問其所有組件和易於互換的部件,可快速可靠地節省多達50%的維護時間。FPA 5000 ES3是一種最先進的晶片步進器，滿足最苛刻、最先進的晶片生產要求。FPA 5000 ES 3以其先進的光學機器、先進的DOF控制、處理多種晶片類型的能力和可維護性特點，是IC生產設施的絕佳選擇。