二手 CANON FPA 5000 ES3 #9200131 待售

CANON FPA 5000 ES3晶片步進器是一種頂級、全自動的光學光刻生產設備,旨在滿足現代高產芯片制造的要求。該ES3配備先進的成像光學器件、高NA照明和精密的控制系統,即使是最復雜的電路,也可以在高達150 mm （6英寸）的標準基板尺寸上形成陣列。CANON FPA 5000ES3采用多場圖像投影系統，將整個晶片迅速暴露在其紅色二極管激光光源下。圖像可以從內部庫編程和調用,也可以從外部導入。多維縫合算法確保晶圓覆蓋無縫。該ES3的分辨率高達5微米,可促進從標線尺寸到亞標線尺寸的不同程度的曝光,從而為生產工程師提供最高程度的靈活性。FPA-5000 ES3可以精確地對齊和定位每個晶片,從而可以精確地以相對於晶片邊緣的任何角度產生復雜的線條和形狀。使用板載6軸條紋場對準單元,可以非常精確地執行貓眼對準、步進重復或蒙版圖樣縫合等過程。該ES3能夠用不同的材料曝光晶片，並且可以容納不同的膠片格式，如正音抗蝕劑、負音抗蝕劑、直接UL光刻、晶片計量學和直接離子植入。同時提供了兩個晶片級,用於多個晶片的連續處理.FPA 5000 ES3的全自動控制機配有診斷儀表、監控系統、用於數據存儲和輸出的大型機以及在線故障診斷功能。此外,網絡I/O工具有助於從生產現場的任何地方進行遠程操作和數據收集。所有這些特性和功能意味著CANON FPA 5000 ES 3可以提供5.0微米的最大分辨率、5英寸大的棕褐色窗口以及完美的光學設置。此外,通用的控制資產、機器人自動化和各種曝光格式使ES3能夠在最高級別快速準確地處理晶片,使其成為高產芯片制造的完美解決方案。