二手 CANON FPA 5000 ES3+ #9200132 待售

CANON FPA 5000 ES3+是一個專門用於半導體制造的光刻晶片步進器和計算光刻平臺。用於潔凈室中，制造微處理器等集成電路（IC）。該設備的設計目的是利用光學成像設備和晶圓映射系統在矽晶片表面上創建投影掩碼。FPA 5000 ES3+配備卡爾蔡司照明單元，多個目標，共3個步進放大倍數。它具有先進的晶圓分散功能，並配有全自動的舞臺對準機，以確保在顯微光刻生產過程中精確對準。該機還設計了最先進的計量特征，允許高精度的叠加模式、性能監控、腔室匹配、缺陷評估、標線檢查和臨界尺寸（CD）計量。CANON FPA 5000 ES3+配備了專門的數據處理工具，利用先進的計算和獨特的芯片縫合模式來產生改進的模式密度。這項技術可以達到0.63微米的分辨率，同時還能去除投影面罩中的潛在誤差。這對於集成電路的生產是強大的，因為它能夠精確地再現納米尺度的特征。FPA 5000 ES3+具備各種高科技安全特性，在加工過程中保護晶片。該機采用內置防撞協議設計，在傳輸樣本的同時減少人為錯誤的可能性。這臺機器還配備了專門的清潔設備，以確保微粒、氣體和化學汙染物能夠充分地從室內清除。CANON FPA 5000 ES3+有全面的服務包支持。工程師可以監視和調整機器的各種參數。為確保快速高效地解決任何問題,可以不斷監控模型的健康狀況,並打印出完整的設備性能報告。總之，FPA 5000 ES3+是用於半導體制造的先進光刻晶片步進器和計算光刻平臺。這臺機器具有先進的晶圓對準和計量功能，使其能夠產生具有納米級模式的集成電路。各種安全協議和客戶服務包確保了集成電路的可靠和安全生產。