二手 CANON FPA 5000 ES3 #9272923 待售

CANON FPA 5000 ES3 Wafer Stepper是用於先進半導體制造的最先進的光刻設備。該系統具有兩級平移級,可提高吞吐量並允許精確對準曝光卡帶。CANON FPA 5000ES3利用六個CANON CCD傳感器和一個高分辨率曝光窗口結合了大規模並行曝光（MPE）單元的設計特點。曝光窗口設計允許廣泛的制造應用，包括生產用於消費電子產品的高產量集成芯片。FPA-5000 ES3的最大放大倍數可達5000倍,分辨率可達0.25 um。它采用八種鏡頭配置，包括凸透鏡、凹透鏡、多f折射鏡等交替曝光光學。特殊的光源，如點光圖案，也可用於設計變化。該機還具有高靈敏度快門機構，以實現所有鏡頭的均勻曝光強度。該工具配備了世界級的圖像處理資產,提供多種圖像調整選項。該軟件利用先進的技術來調整照明效果，應用光圖樣，並進行其他調整，以提高圖像的準確性和一致性。軟件還提供圖像數據庫,允許用戶存儲和查看模式、配方以及任何其他執行設置。CANON FPA 5000 ES 3旨在支持一系列先進的光刻應用，包括深紫外線、EUV和X射線。它還配備了多種其他功能，包括高效的空氣承載級、集成的CPU和RAM，以及與CANON先進晶圓步進系統的硬件/軟件兼容性。該型號的設計滿足了最苛刻的生產需求，使其成為任何半導體制造商的強大工具。