二手 CANON FPA 5000 ES4 #293817779 待售
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ID: 293817779
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.50-0.80
Resolution: 180 nm
DCO: 25
Throughput (WPH): 65-300.
CANON FPA 5000 ES4是一種全自動晶片步進器,具有最先進的設計,設計用於從晶片加工到晶片檢驗的卓越性能。該設備將佳能先進的光刻技術和步進技術與模塊化布局相結合,快速高效地完成工作。ES4模型具有獨立預對準器的集成級系統,以確保精度。每秒最多進行8次高速晶圓移動,可實現高通量,並可處理各種晶圓尺寸。為了最大限度地提高精度,該設備采用了先進的激光掃描儀,具有創新的光學成像體系結構。高精度線性步進器和進紙器將晶片與透鏡完美對齊。這臺先進的晶圓對準機還允許對光學器件的角度、焦點和位置進行現場監控和調整。步進器采用清潔、無塵的光學工具設計,即使在不利的環境條件下也能提供一流的性能。此外,佳能FPA-5000 ES4提供高分辨率成像資產,包括高動態範圍CMOS相機和長工作距離顯微鏡。這樣可以確保在多個運行和環境中獲得一致的結果。步進器利用CANON全面、用戶友好的軟件平臺,提供高度的可變性和定制。用戶直觀的軟件有助於進行實驗,簡化設計和生產過程,以便進行大批量生產。FPA-5000 ES 4可以提高生產效率,通過提高流程的簡便性,幫助用戶保持優化並達到所需的吞吐量Project。該模型非常適合需要卓越性能和精度的高精度應用。該ES4具有各種功能,非常適合各種應用程序和過程。
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