二手 CANON FPA 5000 ES4 #9267141 待售
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已售出
ID: 9267141
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Scanner, 12"
Illumination
Scan illumination
Z-Spin
Wafer type: Notch
CYMER ELS 7300 KrF Scanner laser, 248 nm
Laser
Right side console
Surface illumination (Standard): 36000 W/m²
R-Type inline direction
Reduction ratio: 1:4
Resolution: 120 nm
Alignment accuracy: 20 nm
Throughput:
AGA (8) Shots 110 wafer/hour
Step pitch: 26 nm x 33 mm
(64) Shots, 12"
Exposure amount: 300 J/m²
(3) Lighting NA:
0.80/σ0.80 Conv
0.80/σ0.40 Conv
0.80/SiB2
Projection lens NA: Variable 0.55-0.80
Exposure range (scan field): 26 x 33 mm
Wafer alignment: AGA (Off axis scope)
Reticle library: (7) Sheets
Options:
PPC Unit, 6"
Reticle barcode reader (2D), 6"
Signal tower
Relay FOUP unit
2003 vintage.
CANON FPA 5000 ES4是一種專用晶圓步進器,專為設備生產中的光刻需要而設計.它是一種高度精確可靠的設備，在制造過程中最大限度地提高了設備的一致性。佳能FPA-5000 ES4采用領先的運動控制和光學技術,提供高級功能,如高分辨率成像、並行處理能力和晶圓的最小熱壓縮。這些功能共同提供了顯著提高的過程穩定性和可重復性。FPA-5000 ES 4步進器由主體、掃描儀、激光二極管陣列源、成像光學和超精度級組成。主體容納所有系統組件，使用掃描儀創建所需的模式。此單元中的成像光學器件是最頂端的,可提供最高分辨率。另外，激光二極管陣列源為830nm曝光波長提供最大允許功率。為保證精度，步進器配備了CANON超精密級機構。這臺復雜的機器有兩個正交的U軸，由直線電動機驅動，並提供高度精確的定位工具。因此,該級提供了與晶片的模式的最佳對齊方式,從而在叠加、聚焦和失真校正方面帶來了優越的工藝性能。此外,FPA-5000 ES4步進器還具有廣泛的軟件、自動化和數據采集工具。這樣可以更有效地生產和自動化光刻工藝。為確保安全，該資產集成了幾個條件安全聯鎖，包括光學傳感器、運動控制和電源聯鎖。FPA 5000 ES4步進器是一種可靠且先進的型號,旨在為設備生產中的光刻需求提供無與倫比的性能和穩定性。憑借其頂級技術，包括運動控制、光學和舞臺機構，這款設備提供了高度的精度和過程控制，從而在生產中實現了優越的設備一致性。
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