二手 CANON FPA 5000 ES4 #9282327 待售

佳能FPA 5000 ES4晶片步進器是一種先進的半導體光刻設備.該步進器設計用於半導體制造廠,利用先進的投影光學器件和固定器來支撐各種晶圓形狀和尺寸。其超低激光反射率設計確保了卓越的圖像質量和更高的成像精度,同時其極快的處理速度縮短了周期時間,提高了吞吐量效率並降低了總體成本。CANON FPA-5000 ES4憑借其出色的0.83數值孔徑（NA）提供了出色的陣列設計能力,從而實現了廣泛的景深和改進的工藝緯度。其9英寸（228.6毫米）的大磁場尺寸為晶圓處理提供了靈活性,而其1/6毫秒的曝光時間確保了較小的功能的高分辨率和吞吐量水平,低至0.33 µm。步進器由於其精密的軸上減小的轉向設備而確保了可重復性，確保晶圓與投影光學器件的精確對準。此外，該系統還包括一個用於減少晶圓法蘭載荷和處理薄基板的集成真空單元。該機器具有許多自動化選項和功能,例如集成的晶圓裝載器和存儲器,以及全自動晶圓檢索和移動。其先進的升力標線級提供了一系列的對準功能，以提高標線放置的速度和精度。該工具還可以通過一系列附加的可選組件輕松升級,例如高級OCR空氣掃描儀,它提供了一系列晶圓尺寸的高精度測量。最後，FPA-5000 ES 4具有先進的安全功能，例如在發生意外事件時緊急停止關閉激光操作。它還包括對步進器內部和周圍的電氣、機械和環境條件進行強大的監控,提供安全、高度可靠的處理體驗。此外，該資產經全球使用認證，符合所有適用的安全標準。