二手 CANON FPA 5000 iZ+ #9237478 待售

CANON FPA 5000 iZ+是一種通用的晶圓步進器,具有先進的對準和縫合技術.該設備設計方便快速、準確、可靠的晶圓處理。它提供了高精度、低失真和多用途的掃描過程。該系統專為LCD、CCD、光學元件、平板顯示器和半導體器件制造等廣泛應用而設計。該單元包括一個步進級,可提供高達10 nm的精度、0.05 nm的可重復性和高達50 nm的速度。該級由集成的運動八元電機驅動,可提供高達5 m/s的速度,用於快速晶圓處理。此外,它的內置掃描光學器件可確保高達2nm的高精度對準能力和50 x 100 μ m的低失真。FPA 5000 iZ+還具有廣泛的附件，包括各種傳感器、控制器、激光、相機和激光脈沖停止機。傳感器配備了最新的自動校準技術，用於快速校準和針跡校準，可重復精度小於1.5nm。控制器可實現3D的精確晶片處理。激光器的設計使晶圓振動最小化，並確保平滑掃描。此外,還集成了攝像頭以提供強大的圖像處理能力。此外，激光脈沖停止工具的設計是為了在所需的位置精確地停止激光脈沖，以盡量減少對晶片的傷害，避免過度曝光。總體而言，佳能FPA 5000 iZ+是精密晶圓處理的絕佳資產。它具有先進的對齊和縫合能力、高精度、低失真以及適用於各種應用的各種配件。它是高精度晶圓加工的理想選擇，提供可靠高效的生產工藝。