二手 CANON FPA 5000 iZ #9258487 待售

CANON FPA 5000 iZ是一種晶圓步進器，旨在實現各種先進光刻工藝的卓越性能。該設備采用佳能獨特的高通量成像技術，以0.2 µm或更高的高精度運行。它針對最先進的制造技術進行了優化,例如OPC（光接近校正）和Subwavelength Imaging （SWI）。FPA 5000 iZ的最大工程尺寸為6英寸x 6英寸,並且能夠使用高分辨率減小光學器件對低至0.2 µm的特性進行成像。Optics封裝具有高性能光學元件,包括防散焦/像差校正系統,以及用於照明調節的金屬鹵化物燈。該設備還配備了先進的圖樣切割和縫合軟件，用戶可以利用大場成像，一次處理多達四個晶片。CANON FPA 5000 iZ還包含了許多先進的系統，旨在打擊和最小化光刻過程物理造成的「標記」或圖像失真。CANON專有透射/反射率低角度幹涉（TRLIA）機自動調整沈積材料的臨界曝光角度,而CANON專利申請中的超高對比度（UHC）工具則能夠以更高的精確率對密集、高縱橫比的圖樣進行成像。FPA 5000 iZ是光刻市場上可用的頂級系統之一。它為用戶提供了多種功能,並提高了性能和精度。資產的先進光學、特性和設計可實現高質量的成像。此外,模型的差異易於調節,使用戶能夠在不同深度的焦點需求之間進行切換。這使得可交付的產品具有更高的質量、準確性和性能水平，以滿足微加工的最苛刻的要求。