二手 CANON FPA 5500 iZ+ #293827280 待售
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ID: 293827280
優質的: 2004
i-Line stepper
Illumination system
Reticle preset
Wafer stage
OAS Unit
Stage air control
Reticle library
Reticle handler
Wafer handler
Control board
C-Rack
Lamp house
Temperature controller panel
TDK TAS300 Foup unit
RASCO TBW-CD160 Compact chamber
PP Box
No HDD (Hard Disk Drive)
2004 vintage.
CANON FPA 5500 iZ+晶圓步進器是一種高性能、全自動的步進器，用於半導體制造和檢驗操作。這是一個5軸光刻晶片步進具有頂端的線能力，提供精確的放置和精細的圖樣。它擁有每場5到8秒的循環時間，是最快的步進器。CANON FPA-5500IZ+專為IC（集成電路）和MEMS（微型機電系統）的檢測和制造而設計。其先進的專有技術包括精密的標線級和帶有先進掩模和晶圓對準檢測系統的光源。FPA 5500 IZ++還利用專利的高精度叠加算法和多種對齊技術。CANON FPA 5500 IZ++包含最小板移動階段,可提供極其精確的定位和快速的步進,可重復性用於高產制造。FPA 5500 iZ+由多光刻激光器和檢流計反射鏡驅動，能夠非常精細的圖樣和叠加配準。該設備提供卓越的自動標記檢測和細線圖案。該系統還包括可實現高分辨率和高精度成像結果的自動聚焦離子束蝕刻技術。它具有高性能的突起控制功能，能夠可靠地重復制造小溝槽和通風孔。該單元包含一個空間均勻性監視器，以盡量減少反彈內散射，以保持高精度成像和圖樣。FPA-5500IZ+是為了減少晶圓加工的時間和成本而開發的，最適合先進的設備制造和檢驗應用。該機器具有用戶友好的界面和易於使用的控制面板,可確保操作員的參與程度降至最低。CANON FPA 5500 iZ+符合圖像質量、精度和周期時間的最高標準。它旨在確保制造和檢查當今最先進的半導體器件的最大生產力。其卓越的精度和高通量使其成為大批量設備生產的理想選擇。
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