二手 CANON FPA 5500 iZ #9235467 待售

CANON FPA 5500 iZ是一種先進的晶圓步進器，旨在實現典型的成像性能和準確性。這臺設備是采用深紫外線（DUV）光刻技術加工微芯片等半導體器件的氮氣冷卻步進器。CANON FPA 5500IZ具有高度精確的主成像系統,包括多層設計、高效照明單元和旋轉編碼器。多層設計部分吸收背景光以增強邊緣對比度，而高效照明機則有助於中繼正確的交替成像水平。同時，旋轉編碼器提供準確的位置信息。FPA-5500 IZ還具有0.0050 µm的電池精度和0.00024 nm的線路精度,因此具有很高的陣列放置精度。它還具有0.5nm CD均勻性和0.0015 µm圖像精度,具有優異的成像性能。此外,該工具的照明光學器件使用的是5倍還原光學器件,其數值孔徑為0.60。FPA 5500IZ的高性能成像和精確度通過自動校準進一步提高，最大限度地減少了調整誤差。它還配備了多種其他外部控制，如允許快速曝光和著色校正的快速通道資產、自動階段模式對準以及保持最佳成像焦點的軸上自動對焦模型。此外，該設備還減少了由於空氣冷卻而產生的顆粒負荷，並有效過濾了小至0.1µm的顆粒。FPA 5500 iZ的整體設計耐用可靠，其腔室內有低壓（6 Pascals）。通過提供卓越的成像性能、準確性和可靠性,此系統是那些需要以嚴格的精度創建復雜圖像的用戶的理想選擇。