二手 CANON FPA 5500 iZ #9247811 待售

CANON FPA 5500 iZ是用於半導體元件制造的理想晶圓步進器。它采用了精密間隙控制技術（PGCT）,該技術旨在提高精度、速度和吞吐量,同時保持生產最優質晶片的能力。這臺機器能夠以高達0.1 µm的分辨率進行步進操作，以對正負色調阻抗進行陣列化。此外,該機器的高輸出功率為1000晶圓/小時,非常適合商業生產。步進器采用4維級結構，采用集成的嵌孔電機，可平滑、精確地處理晶圓。這樣可以提高對準設備的定位精度,並確保在多個晶片上保持一致的性能。此外，晶片臺還配備了溫度控制系統和溫度監測裝置，以更好地保證晶片級的均勻性。本機采用5KW超高壓汞燈，曝光率高達2.9mJ/cm2。這使得圖案分辨率從0.3 μ米到10 μ米，復雜的細節與保形透鏡技術以及改進的淺層蝕刻實現。CANON FPA 5500IZ還提供了自動間隔器丟失檢測,允許在單個周期內自動檢測間隔器丟失故障。這大大提高了可靠性，減少了因人為疏忽而出錯的幾率。此工具具有高分辨率的Cross Stage XY,專門為滿足精確定位和高可重復性的嚴格要求而設計。它配有集成環編碼器、絕對色度測量和角動式轉子設計，提供晶圓桿定位的最高精度。FPA-5500 IZ還具有自動區域設置功能,可快速設置均勻曝光設置。這是一個有利的功能，它簡化了設置過程，使具有混合設計或具有復雜模式的晶片能夠快速曝光。FPA 5500 iZ還通過CANON服務網絡得到卓越售後服務的支持,其中包括在線管理資產、合格人員提供的技術和工程支持,以及遠程故障排除等一系列附加選項。總之,FPA 5500IZ是一種先進的晶片步進模型,具有優異的性能和可靠性.它具有很高的速度和精度，非常適合在半導體工業中生產高精度和復雜的圖樣。