二手 CANON FPA 5500 iZ+ #9247812 待售

CANON FPA 5500 iZ+晶圓步進器采用先進的半導體光刻技術進行高通量、高分辨率成像。其多波長視覺使設備在產生多層時能夠進行復雜的對準和叠加掃描。此外,iZ+還具有先進的光學子系統陣列,可實現模式校正和廣泛的動態範圍。其深紫外線（DUV）掃描儀能夠分辨出0.18微米的特性。CANON FPA-5500IZ+是一種具有自動聚焦機的位置測量系統激光投影單元（LP），設計用於高精度、高通量的制造。它為DUV激光器配備了直徑9英寸的5片鏡頭，使工具達到高圖像分辨率和150毫米的視場（FOV）。LP可以通過一個大的視野進行測量，使其能夠以精確和可重復的對準精度用於設備晶片的生產和檢查。FPA 5500 IZ++晶片步進器具有許多高精度成像的特點。它配備了用於清晰成像的色差校正器（CAC），以及補償CAC位置漂移的壓電驅動掃描資產。此外，多波長光學濾波器有助於檢測圖樣之間的細微差別。此外，為防止失真，線性模式識別模型允許精確對準。它還配備了內部信號處理，減少噪音，提高模式識別精度。使用DUV激光器上的光束分割設備，FPA-5500IZ+也可以在不同的光刻層之間快速切換。這樣可以在最短的停機時間內快速處理時間和高吞吐量。此外,360度旋轉轉塔可提高多個位置的吞吐量。它使系統能夠快速切換覆蓋位置以獲得更精確的位置。CANON FPA 5500 IZ++還提供了內置的自動鑲嵌功能，使其能夠生產多層、高質量的設備。此功能創建圖像鑲嵌以覆蓋基板,而無需手動重新對齊晶圓。此外,它還能夠處理多達6倍的標線以進行並行曝光,並且可以在單個作業中對高達8倍的曝光進行成像。總體而言,FPA 5500 iZ+晶片步進器是一個可靠而靈活的單元,可提供高精度成像和最小化失真,用於復雜多層設備的高吞吐量和輸出。它具有廣泛的功能,是快速準確地生產設備的理想選擇。