二手 CANON FPA 5500 iZ+ #9251792 待售

CANON FPA 5500 iZ+是一種半自動光刻晶片步進設備，設計用於高精度、經濟高效的光掩模生產。該系統提供了相對容易和快速地生成光掩模圖樣所需的靈活性和精確度。該單元具有一個非常強大的步進引擎，提供快速的速度，高精度，和最小的模式失真。步進引擎與高速、精確對齊的光學頭結合，以極高的分辨率高效掃描掩模。當步進器處理重叠的模式時,最多可使用5個標線,從而節省時間和成本,使其成為多項任務的理想選擇。該機采用先進的對準工具和適用於VLSI和CMP處理的模具對準能力。它的高精度對齊資產有助於最小化設置時間,並使將多個掩碼註冊到單個晶圓上變得容易。它支持多種基板和標線尺寸的能力使得它成為不同尺寸模式的客戶的絕佳選擇。CANON FPA-5500IZ+具有噴墨液滴檢測模型。該設備可以檢測掩模表面的缺陷，快速識別有缺陷的圖樣，然後操縱數據或采取糾正措施，例如重新定位當前的圖樣或丟棄有缺陷的表面。集成的光掩模生產環境為建立和管理光掩模模式提供了不可或缺的功能。該系統簡化了參數設置過程,提高了效率並有助於降低成本。此外,掩模生產工具還管理所有相關數據和歷史記錄,以提高效率和準確性。為確保最佳性能,FPA 5500 IZ++具有閉環控制單元。本機監控基板溫度和光掩模階段的嚴格性能.集成的溫度控制工具可確保均勻的基板溫度,以獲得精確的結果,而不管資產運行了多長時間。總體而言,FPA 5500 iZ+是一種先進但用戶友好的晶圓步進模型,專為高精度和經濟高效的光掩模生產而設計。憑借旨在提高準確性和降低成本的集成功能、光發射測試以及強大的實時基板處理功能，這款設備是光掩模行業客戶的理想選擇。