二手 CANON FPA 5500 iZ+ #9251794 待售

CANON FPA 5500 iZ+是為半導體制造應用而設計的晶圓步進器。iZ+是CANON步進系列的旗艦機型，能夠以極高的精度和較高的吞吐量產生模式。步進器是一個6軸裝置，每個軸可獨立編程，以達到納米級精度。它使用衍射限分辨率為1.2微米的長工作距離透鏡，使其能夠產生邊緣銳利、表面光滑的圖案。它使用大功率CCD相機，最大分辨率為1024 x 1024像素。IZ+還能夠產生深亞微米模式。其專門的先進光電快門系統（AOSS）可以產生最小線寬/空間寬度為0.30微米的圖案，為3D半導體器件提供優越的圖案。除了它的模式-數字是一個18輸入引腳感應驅動站，可用於控制IP塊交叉連接信號復雜的制造過程。IZ+還具有自動化的測量系統，使步進器能夠測量亞微米的膠帶位置，並確保所有圖案都能正確形成。所有必要的對齊數據都由系統不斷監控，並傳回主控制單元進行實時反饋。CANON FPA-5500IZ+提供了一種快速、可靠和高精度的半導體制造工具，能夠產生性能優異、高精度高的深亞微米圖案。步進器也易於操作,並由CANON強大的客戶服務進行備份。借助可靠和全面的支持,iZ+可以為任何半導體制造操作提供長期的生產效率。