二手 CANON FPA 5500 iZ #9274953 待售

CANON FPA 5500 iZ是一種晶圓步進器，用於半導體工業中，用於制造集成電路（IC）和其他微電子器件如內存芯片、處理器或LED。它采用了先進的設計,可幫助最大程度地減少各種設備在過程準確性和可重復性方面的變化。iZ是一個步進掃描系統，意味著它能夠分兩步水平移動標線（存儲電路設計模式的掩碼）和晶圓。第一步稱為「預對齊」，其中標線精確定位在晶片上方。第二步稱為「掃描」，其中使用稱為「曝光」光束的激光束將圖樣從標線投射到晶片上。CANON FPA 5500IZ能夠以0.25微米的最大分辨率（1/4微米）和單位數納米範圍內的最大重復精度（即偏差小於10nm）運行。它具有高端圖像縫合功能，可以將幾個圖像連接在一起，重新創建分辨率為0.25微米的大標線圖案。IZ還提供一系列高級對齊功能。這包括對標線和晶片進行對齊，以確保準確性和可重復性；在晶片上進行一系列類似場的相對定位的能力；以及允許晶片和標線精確快速預先對準而無需調整晶片或標線的就位（JIP）模式。FPA-5500 IZ被設計為制造設備的快速、可靠和高性能的平臺。由於其成像系統的高精度和靈活的對準系統，它能夠提供快速的周期時間，從而可以重復和準確的現場放置。此外,它還提供了一系列功能,例如可定制的晶片卡盤、光纖照明系統和直觀的用戶界面。FPA 5500IZ是一種健壯且精確的晶圓步進器，適用於各種微電子制造過程。它是為最高精度和可重復性而設計的，並提供了許多先進的功能，使其成為制造IC和其他微電子器件的理想選擇。